Erikoiskaasut viittaavat puhtaiden kaasujen, erittäin-puhtaiden kaasujen tai erittäin-puhtaiden peruskaasujen binäärisiin tai monikomponenttisiin seoksiin, joilla on tietyt puhtaus-, koostumus- tai suorituskykyvaatimukset ja joita käytetään tietyillä aloilla.
Määritelmä: Erikoiskaasuilla on tiukat vaatimukset puhtaudelle, epäpuhtauspitoisuudelle, stabiiliudelle ja muille indikaattoreille. Ne valmistetaan yleensä erityisillä prosesseilla (kuten kryogeeninen tislaus, adsorptio, kalvoerotus jne.) tarkkuusvalmistuksen tai tieteellisen tutkimuksen tarpeisiin.
Luokitus: Elektroniikkakaasut: Käytetään puolijohdeteollisuudessa, näyttöpaneeleissa ja muilla elektroniikkateollisuudella, kuten silaani, -puhtaus ammoniakki ja rikkiheksafluoridi, jotka vaativat erittäin korkeaa puhtautta ja hiukkaskokoa.
Erittäin{0}}puhtaat kaasut: joiden puhtaus on 99,999 % tai enemmän, kuten erittäin-puhtaus vety ja erittäin-puhtaus helium, joita käytetään laboratorioanalyyseissä, lasertekniikassa ja muilla aloilla.
Vakiokaasut: Kaasut, jotka on sekoitettu tietyissä suhteissa ja joita käytetään instrumenttien kalibrointiin tai ympäristön valvontaan, kuten hiilimonoksidia ja rikkidioksidia sisältävät standardiseokset.